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高纯气体的定义与分类

高纯气体的定义与分类


高纯气体是指纯度极高(通常≥99.999%)、杂质含量极低的气体,根据应用需求可分为:


- 电子级气体(如高纯氮气、氩气、氢气):用于半导体芯片制造、液晶面板生产等。


- 医疗级气体(如高纯氧气、二氧化碳):用于呼吸治疗、麻醉、细胞培养等。


- 分析级气体(如高纯氦气、氩气):用于气相色谱、质谱等精密仪器。


- 特种气体(如硅烷、六氟化硫):用于光伏、电力绝缘等特殊领域。


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